ダストフリーウェハー
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| 項目 | Unit | 仕様 | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| サイズ | inch | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 | 8 | 12 |
| 製法 | - | CZ / FZ | ||||||
| タイプ | - | P or N | ||||||
| ドーパント | - | B / P / As / Sb / ノンドープ | ||||||
| 結晶方位 | - | |||||||
| 厚み | μm | 280 | 380 | 525 | 525/625 | 625 | 725 | 775 |
| 厚み公差 | μm | 20 | 20 | 25 | 25 | 25 | 25 | 25 |
| 抵抗値 | Ω･cm | 0.001～10000Ω | ||||||
| オリフラ | - | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○/ノッチ | ノッチ |
| パーティクル | Lv | 0.3μm以上10個以下（≧0.3μm ≦10ea） | ||||||
| 面状態 | - | 片面ミラー | 両面ミラー | |||||
| 数量 | lot | 25枚 | ||||||
| 梱包形態 | - | ウェハーケース＋クリーンパック | ||||||
| 備考 | - | *高精度ウェハーお問い合わせください。 | ||||||
| *低パーティクルウェハーお問い合わせください。 | ||||||||
| *各種膜付けお問い合わせください。 | ||||||||
ダミーウェハー
| 項目 | Unit | 仕様 | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| サイズ | inch | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 | 8 | 12 |
| タイプ | - | P or N / 不問 | ||||||
| 結晶方位 | - | |||||||
| 厚み | μm | 280 | 380 | 525 | 525/625 | 625 | 725 | 775 |
| 厚み公差 | μm | 20 | 20 | 25 | 25 | 25 | 25 | 25 |
| 抵抗値 | Ω･cm | 不問 | ||||||
| オリフラ | - | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ノッチ | ノッチ |
| パーティクル | Lv | 不問 | ||||||
| 面状態 | - | 片面ミラー | 両面ミラー | |||||
| 数量 | lot | 25枚 | ||||||
| 梱包形態 | - | コインロール（重ね合わせ） | ||||||
| 備考 | - | - | ||||||
SOIウェハー
| 項目 | Unit | 仕様 | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| サイズ | inch | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 | 8 | |
| 活性層 | Unit | 仕様 | ||||||
| 製法 | - | CZ / FZ | ||||||
| タイプ・導電型 | - | P / N / ノンドープ | ||||||
| ドーパント | - | B / P / As / Sb | ||||||
| 結晶方位 | - | |||||||
| 厚み | μm | 1.5-500 | ||||||
| 抵抗値 | Ω·cm | 0.001至10000Ω | ||||||
| 埋め込み酸化膜 | μm | 0.05〜10 | ||||||
| 支持基盤 | - | 仕様 | ||||||
| 製法 | Lv | CZ / FZ | ||||||
| タイプ・導電型 | - | P / N / ノンドープ | ||||||
| ドーパント | - | B / P / As / Sb | ||||||
| 結晶方位 | - | |||||||
| 厚み | μm | JEITA・SEMI標準 / 100 ～ 2000 | ||||||
| 抵抗値 | Ω･ cm | 0.01〜10000Ω | ||||||
| 備考 | Ω･ cm | *製法やドーパントの種類によって対応できる値が異なります | ||||||
Wafer Dimension Specification SEMI－JEIDA 比較表
| DIAMETER | Dimension | SEMI | 50.8 | - | 76.2 | 80 | 90 | 100 | 125 | 150 | 200 | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| JEIDA | 50 | 60 | 76 | - | 90 | 100 | 125 | 150 | 200 | ||||||
| Tolerance | SEMI | 0.38 | - | 0.63 | - | 0.5 | 0.5 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | |||||
| JEIDA | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | ||||||
| THICKNESS | Dimension | SEMI | 0.279 | - | 0.381 | 0.4 | 0.475 | 0.52 | 0.625 | 0.625 | 0.675 | 0.725 | |||
| JEIDA | 0.28 | 0.33 | 0.38 | - | 0.475 | 0.525 | 0.625 | 0.625 | 0.725 | ||||||
| Tolerance | SEMI | 0.025 | - | 0.025 | 0.025 | 0.025 | 0.02 | 0.02 | 0.02 | 0.02 | |||||
| JEIDA | 0.010 | 0.015 | 0.015 | - | 0.025 | 0.015 | 0.015 | 0.015 | 0.025 | ||||||
| PRIMARY | Dimension | SEMI | 15.88 | - | 22.22 | 22 | 27 | 32.5 | 42.5 | 57.5 | 57.5 | ||||
| FLAT LENGTH | JEIDA | 17.5 | 20 | 22 | - | 27 | 32.5 | 42.5 | 47.5 | 57.5 | |||||
| Tolerance | SEMI | 1.65 | - | 3.17 | 3 | 3 | 2.5 | 2.5 | 2.5 | 2.5 | |||||
| JEIDA | 2.5 | 2.5 | 2.5 | - | 2.5 | 2.5 | 2.5 | 2.5 | 2.5 | ||||||
| SECONDARY | Dimension | SEMI | 8 | - | 11.18 | 11.5 | 13.5 | 18 | 27.5 | 37.5 | NO 2nd flat | ||||
| FLAT LENGTH | JEIDA | - | - | - | - | - | - | - | - | - | |||||
| BOW MAX | Dimension | SEMI | 0.038 | - | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.06 | 0.065 | ||||
| JEIDA | - | - | - | - | - | - | - | - | - | ||||||
| TOTAL THICKNESS | Dimension | SEMI | 0.012 | - | 0.025 | 0.025 | 0.025 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | ||||
| VARIATION | JEIDA | 0.015 | 0.02 | 0.025 | - | 0.025 | 0.025 | 0.025 | 0.025 | 0.025 | |||||
| PROFILE | Dimension | SEMI | 0.093 | - | 0.127 | 0.133 | 0.158 | 0.175 | 0.208 | 0.208 | 0.225 | 0.242 | |||
| VARIATION | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | |||||
