各ウェハー製品仕様

ダストフリーウェハー
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項目 Unit 仕様
サイズ inch 2 3 4 5 6 8 12
製法 - CZ / FZ
タイプ - P or N
ドーパント - B / P / As / Sb / ノンドープ
結晶方位 -
厚み μm 280 380 525 525/625 625 725 775
厚み公差 μm 20 20 25 25 25 25 25
抵抗値 Ω・cm 0.001~10000Ω
オリフラ - ○/ノッチ ノッチ
パーティクル Lv 0.3μm以上10個以下(≧0.3μm ≦10ea)
面状態 - 片面ミラー 両面ミラー
数量 lot 25枚
梱包形態 - ウェハーケース+クリーンパック
備考 - *高精度ウェハーお問い合わせください。
*低パーティクルウェハーお問い合わせください。
*各種膜付けお問い合わせください。

ダミーウェハー

項目 Unit 仕様
サイズ inch 2 3 4 5 6 8 12
タイプ - P or N / 不問
結晶方位 -
厚み μm 280 380 525 525/625 625 725 775
厚み公差 μm 20 20 25 25 25 25 25
抵抗値 Ω・cm 不問
オリフラ - ノッチ ノッチ
パーティクル Lv 不問
面状態 - 片面ミラー 両面ミラー
数量 lot 25枚
梱包形態 - コインロール(重ね合わせ)
備考 - -

SOIウェハー

項目 Unit 仕様
サイズ inch 2 3 4 5 6 8
活性層 Unit 仕様
製法 - CZ / FZ
タイプ・導電型 - P / N / ノンドープ
ドーパント - B / P / As / Sb
結晶方位 -
厚み μm 1.5-500
抵抗値 Ω·cm 0.001至10000Ω
埋め込み酸化膜 μm 0.05〜10
支持基盤 - 仕様
製法 Lv CZ / FZ
タイプ・導電型 - P / N / ノンドープ
ドーパント - B / P / As / Sb
結晶方位 -
厚み μm JEITA・SEMI標準 / 100 ~ 2000
抵抗値 Ω・ cm 0.01〜10000Ω
備考 Ω・ cm *製法やドーパントの種類によって対応できる値が異なります

Wafer Dimension Specification SEMI-JEIDA 比較表

                        
DIAMETERDimensionSEMI50.8-76.280 90 100 125150200
JEIDA 50 60 76 - 90 100 125 150 200



ToleranceSEMI 0.38 - 0.63 - 0.5 0.5 0.2 0.2 0.2



JEIDA 0.5 0.5 0.50.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5



THICKNESSDimensionSEMI0.279-0.3810.4 0.475 0.52 0.6250.6250.6750.725
JEIDA 0.28 0.33 0.38- 0.475 0.525 0.625 0.625 0.725



ToleranceSEMI 0.025 - 0.025 0.025 0.025 0.02 0.02 0.02 0.02



JEIDA 0.010 0.015 0.015 - 0.025 0.015 0.0150.0150.025



PRIMARYDimensionSEMI15.88 - 22.22 22 27 32.5 42.5 57.5 57.5


FLAT LENGTHJEIDA 17.5 20 22 - 27 32.5 42.5 47.5 57.5



ToleranceSEMI1.65 - 3.17 3 3 2.5 2.5 2.5 2.5



JEIDA 2.52.52.5- 2.5 2.5 2.5 2.5 2.5


SECONDARYDimensionSEMI8 - 11.18 11.5 13.5 18 27.5 37.5 NO 2nd flat


FLAT LENGTHJEIDA ---- - - - - -


BOW MAXDimensionSEMI0.038 - 0.04 0.04 0.04 0.04 0.040.060.065


JEIDA ---- - - - - -


TOTAL THICKNESSDimensionSEMI0.012 - 0.025 0.025 0.025 0.01 0.010.01 0.01


VARIATIONJEIDA 0.015 0.02 0.025 - 0.025 0.025 0.025 0.025 0.025


PROFILEDimensionSEMI0.093      - 0.127 0.133 0.158 0.175 0.208 0.208 0.225 0.242


VARIATION---- - - - - --


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